Parylene（聚對二甲苯）是軍事標(biāo)準(zhǔn)中唯一一種固態(tài)涂料，是六十年代中期美國聯(lián)合碳化物公司開發(fā)的一種新型敷形涂層材料，它是一種多分子聚合物。Parylene 用獨(dú)特的真空氣相沉積工藝制備，由活性小分子在基材表面生長出完全敷形的 0.1 至 100 微米的聚合物薄膜涂層，它能涂敷到各種形狀的表面，包括尖銳的棱邊，裂縫里和內(nèi)表面。這種薄膜涂層具有厚度均勻、致密無針孔、透明無應(yīng)力、不含助劑、不損傷工件、具有優(yōu)異的電絕緣性和防護(hù)性。尤其可以應(yīng)用在液態(tài)涂料無法涉及的領(lǐng)域如高頻電路、極弱電流系統(tǒng)的三防保護(hù)，是現(xiàn)代最有效的防潮、防霉、防腐、防鹽霧涂層材料。

       計(jì)算機(jī)全自動操作，多種沉積腔室選擇，壓力閉環(huán)控制沉積過程，自動結(jié)合力增強(qiáng)裝置，保證沉積質(zhì)量及一致性。