制造商:中國(中科鐳特)
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晶圓激光劃片剝離設備

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固化設備

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開帽機

晶圓激光劃片開槽設備【UF300S】

LTUF300 激光晶圓自動切割系統
制造商:中國(中科鐳特)
主要功能:激光劃片、開槽

  •        LTUF300S 是一臺集多功能性和智能化于一體的激光晶圓自動切割系統。多功能體現在可用于LOW-K, WLP 等多種表面材料的晶圓切割。智能化體現在此系統配備CCD 圖像定位系統、自動校準系統、隨動系統、全自動上下料系統和常規應用的數據庫自動調用系統。

  • 一、高可靠的批量生產系統

    ◆ 抗振的大理石平臺支撐結構
    ◆ 低維護成本的飛秒激光器
    ◆ 獨有的激光表切技術
    ◆ 全自動上下料系統
    ◆ 高精度長壽命的運動平臺
    ◆ CCD定位系統使加工智能化
    ◆ 精密的陶瓷微孔吸盤
    ◆ 自動對焦系統保證加工的焦點位置
    ◆ 科學的結構保證加工穩定性
    ◆ 用戶界面友好軟件功能強大

    二、技術特點

    高性能激光器

    進口飛秒激光器,光束質量好、聚焦光班小、切割質量高。
    超高切割精度

    高精度進口直線電機運動系統,切割精度控制在微米量級。
    完全自動定位

    機器視覺抓取Mark點定位,精度高,無需人工干預,操作簡單,效率高。
    圖檔處理方便

    切割圖檔只需使用AutoCAD等處理即可使用。
    大理石結構

    全大理石框架結構,減震隔離設計,保證光路穩定,高速運動。
    激光防護系統

    符合工業標準的激光防護結構,保證操作人員安全。

     

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